Micro LED巨量转移设备 Laser Mass Transfer

海目星激光科技集团股份有限公司

Hymson Laser Technology Group Co., Ltd.

Micro LED具备使用寿命长、效率高、显示品质高、能耗低、响应时间短、极限分辨率高等优势，是最有可能替代TFT-LCD和OLED的下一代显示技术。巨量转移是Micro LED实现市场化的关键技术之一。本产品针对Micro LED转移至临时基板并完成RGB三色芯片排片制程进行开发。以自主研发的阵列式激光作为光源，搭配高精度大理石平台，以及全自动监控系统，实现Micro LED芯片的高效率、高良率巨量转移。自主研发的光学系统，可以满足最小尺寸10μm、最小间距10μm的Micro LED芯片巨量转移，转移效率25Kk/h-100KK/h；配套独有的巨量转移策略，有效解决mura问题；搭配自主研发的配套转移膜材，提供完整的巨量转移解决方案。整机技术及配套材料完全自主研发，可以根据客户需求适配不同产品，打破巨量转移光学系统和关键材料的国外垄断，促进新型显示技术的产业升级。

Micro LED具备使用寿命长、效率高、显示品质高、能耗低、响应时间短、极限分辨率高等优势，是最有可能替代TFT-LCD和OLED的下一代显示技术。巨量转移是Micro LED实现市场化的关键技术之一。本产品针对Micro LED转移至临时基板并完成RGB三色芯片排片制程进行开发。以自主研发的阵列式激光作为光源，搭配高精度大理石平台，以及全自动监控系统，实现Micro LED芯片的高效率、高良率巨量转移。自主研发的光学系统，可以满足最小尺寸10μm、最小间距10μm的Micro LED芯片巨量转移，转移效率25Kk/h-100KK/h；配套独有的巨量转移策略，有效解决mura问题；搭配自主研发的配套转移膜材，提供完整的巨量转移解决方案。整机技术及配套材料完全自主研发，可以根据客户需求适配不同产品，打破巨量转移光学系统和关键材料的国外垄断，促进新型显示技术的产业升级。

The Micro LED is considered to be the next generation display technology that may subvert TFT-LCD and OLED in terms of its long lifetime，high efficiency，high color reproduction， low power consumption，nanosecond response time and high resolution. Micro LED Mass transfer is one of the key technologies for industrialized manufacturing. This machinery perform the processes of LLO and LIFT for RGB Micro LED chips. High yield and efficiency are achieved benefiting from Self-developed laser system, High accuracy marble platform, auto monitoring and controlling. The minimum size and pitch can be down to 10 um, while the transfer speed is up to 100 KK/h. meanwhile, our unique transfer technology can avoid the mura defect. With related supporting film, we provide complete solutions for mass transfer.

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